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恒溫氮氣柜使用注意事項
一、供氣與氮氣安全
氣源要求
使用高純氮氣（建議≥99.99%），禁止壓縮空氣直接接入；供氣壓力控制在0.04～0.08MPa，壓力過高易沖壞密封、過低除濕 / 降氧效率不足。
管路檢查
進氣軟管、接頭定期檢漏（肥皂水測漏），杜絕氮氣泄漏；氮氣無色無味，密閉空間大量泄漏會造成缺氧窒息，車間保持通風(fēng)。
閥門規(guī)范
開機順序：打開氣源→啟動設(shè)備；停機：先關(guān)閉進氣閥，再關(guān)機。長期不用切斷氮氣氣源。
二、溫濕度、氧濃度參數(shù)設(shè)置
嚴(yán)禁超范圍設(shè)定，參照設(shè)備額定區(qū)間： 溫度：多數(shù)機型 15～40℃，不要設(shè)置接近上下極限，避免加熱模塊持續(xù)滿載；
濕度：常用 5%～40% RH，存放晶圓、PCB、IC、光學(xué)元件一般控制 5%～10% RH；
氧含量：有氧量監(jiān)測機型可按需設(shè)定，一般≤1000ppm。
溫濕穩(wěn)定需要時間，不要頻繁修改參數(shù)；開門后濕度 / 氧含量回升屬于正常現(xiàn)象，減少頻繁開門。
三、裝載與柜體操作
物品要求
工件表面無積水、油污、清洗劑殘留，濕工件直接放入會大幅增加氮氣消耗，還易滋生霉菌、腐蝕傳感器。
擺放規(guī)范
物料不能緊貼背部風(fēng)道、溫濕度傳感器、循環(huán)風(fēng)口，預(yù)留氣流通道；不要堆疊堵塞循環(huán)風(fēng)，造成內(nèi)部溫濕度不均。
開門管控
盡量縮短開門時長；批量取放規(guī)劃好流程。部分機型帶有開門延時充氣功能，確認(rèn)功能正常。
禁止：超載堆放、撞擊玻璃門、倚靠柜門，避免密封條變形漏氣。
四、電氣與溫控安全
供電：使用獨立穩(wěn)定插座，做好接地，避免與大功率加熱設(shè)備共用回路，防止電壓波動影響溫控模塊。
高溫警示
內(nèi)部加熱組件工作時，不要徒手觸碰風(fēng)道內(nèi)部；柜內(nèi)禁止存放易燃、易揮發(fā)溶劑（酒精、丙酮等），揮發(fā)氣體遇高溫存在隱患。
散熱
柜體四周預(yù)留≥10cm 散熱空間，不要緊貼墻面、包裹柜體，防止溫控過熱報警。
五、日常維護與傳感器
密封條
定期清潔門框硅膠密封條，清除粉塵碎屑；出現(xiàn)硬化、破損及時更換，漏氣會導(dǎo)致氮氣持續(xù)消耗、濕度降不下去。
傳感器維護
溫濕度、氧傳感器避免粉塵覆蓋；不要用液體直接沖洗傳感器探頭，必要時用干燥無塵布輕擦。
排水 / 除塵
帶有冷凝除濕模塊機型，定期檢查排水管路通暢；濾網(wǎng)按周期清理粉塵，保證風(fēng)道循環(huán)。
記錄巡檢
定時查看溫度、濕度、氮氣流量、報警信息；重點關(guān)注：持續(xù)高濕、氮氣流量異常偏大、溫度波動大。
六、報警與故障處理
出現(xiàn)報警先查看代碼：常見超溫報警、濕度超標(biāo)、氣源低壓報警、開門超時報警。
氣源低壓報警：先檢查氮氣瓶壓力、減壓閥；濕度長期下不去優(yōu)先排查門封漏氣、物料帶濕、濾網(wǎng)堵塞。
嚴(yán)禁在未斷電、未關(guān)氣源情況下拆開電控箱、氣路組件；內(nèi)部檢修由專業(yè)人員操作。
七、節(jié)能要點（生產(chǎn)常用）
根據(jù)物料耐濕等級設(shè)定濕度，不必一味追求極低濕度，減少氮氣損耗；
啟用氮氣節(jié)能模式（PID 間歇充氣），避免持續(xù)大流量吹掃；
夜間停產(chǎn)如無特殊保存要求，可適當(dāng)放寬濕度閾值降低消耗。
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